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近期，海内半导体装备范畴喜报频传，多家企业于12英寸装备的研发及量产方面取患上进展，触及企业包括富家半导体、晶驰电机、山西天成、首芯半导体、北方华创、中微公司等。

海内某公司：12英寸多腔多工位CVD装备实现量产

4月中旬，某公司公布，其自立研发的12英寸多腔多工位CVD装备与8英寸多腔多工位CVD装备乐成实现量产。这不仅标记着公司完成为了从架构设计、样机验证到体系交付的技能闭环，更实现了海内于该装备架构种别的初次工程化部署，弥补了国产细分范畴空缺。

某公司自2020年起专注在 多腔多Station CVD装备的自立研发，该架构已经成为全世界主流厂商结构的下一代CVD技能焦点标的目的。差别在市场上仍遍及采用的 twinchamber 架构，某公司选择了技能门坎更高的 多工艺腔-多Station 模式，以晋升沉积路径一致性及厚膜工艺效率，于工艺不变性、装备兼容性、产线产能晋升与成本节制等要害维度，形成显著竞争上风。

此外，某公司自立构建了完备的国产化CVD装备系统，涵盖从布局设计到节制平台的全链路立异，包括工艺腔优化、气路体系自立设计、温控体系加强、搬运平台优化、射频功率节制和智能调理算法等，确保繁杂工艺精度与一致性。

富家半导体：8/12英寸SiC衬底激光剥离实现3年夜新冲破

4月25日，富家半导体公布于8/12英寸SiC衬底激光剥离技能上实现3年夜新冲破，鞭策年夜尺寸碳化硅衬底加工迈向 低成本、高良率 时代。

富家半导体的三年夜冲破性技能包括：冲破低电阻率晶锭激光加工瓶颈，实现导电型衬底电阻率需责备笼罩；砂轮损耗降40%+，采用LaserMesh 界面技能精准节制剥离面描摹（粗拙度 2 m，TTV 10 m），联合界面软化工艺，年夜幅降低后续减薄成本；全世界率先实现12英寸导电/半绝缘晶锭激光剥离量产，为光电子、射频器件降本奠定。

于本年1月末，富家半导体公布其于激光微加工范畴取患上庞大冲破，推出全新一代全主动晶圆激光开槽装备 GV-N3242系列。该装备于开槽质量、开槽精度、干净度管控以和质料兼容性方面年夜幅晋升，已经经由过程客户严苛的技能验证，具有量产能力。

据悉，富家数控（富家半导体母公司）2025年第一季度业务总收入达9.6亿元，同比增加27.89%；净利润为1.17亿元，较去年同期激增83.60%。

晶驰电机：电阻法12寸碳化硅晶体生长装备开发乐成

近期，晶驰电机公布，其乐成开发出电阻法12寸碳化硅晶体生长装备。该装备采用电阻式物理气相传输（PVT）要领，经由过程立异的布局及热场设计，联合进步前辈的历程节制理论及主动化节制要领，实现了匀称的径向温度及宽规模精准可调的轴向温度梯度。晶锭形态完善，外貌微凸度精准节制于2.4妹妹之内，乐成冲破统一炉台多尺寸生长技能壁垒，实现了统一台装备既可不变量产八寸碳化硅单晶，又彻底具有生长十二寸碳化硅单晶的能力。

晶驰电机建立在2021年7月，总部与研发中央位在杭州市浙江年夜学杭州国际科创中央。该公司专注在第三代及第四代半导体质料设备的研发、出产，产物包括碳化硅晶体生长装备、外延装备等。

据悉，本年1月，晶驰电机开发的8英寸碳化硅电阻式长晶炉经由过程客户验证，并正式开启了小批量交付；别的，其自立研发的 全主动碳化硅腐化洗濯装备 乐成交付海外客户。

此外值患上留意的是，去年11月末，位在河北正定高新技能财产开发区的晶驰电机半导体质料设备研发出产项目正式投产，首台MPCVD装备实现交付。该项目总投资2亿元，占地约50.26亩，总修建面积约20000平方米，项目分两期设置装备摆设，一期设置装备摆设规划时间为2025年 2026年。项目以金刚石装备与碳化硅外延装备为产物焦点，专注在第三代及第四代半导体质料设备的研发、出产。

山西天成：12英寸碳化硅长晶炉规划Q3投放市场

近期，山西天成科技副总司理吐露，该公司自立研发的12英寸碳化硅长晶炉已经进入炉体组装及工艺调试阶段，规划在2025年第三季度投放市场。

公然资料显示，山西天成在2021年8月建立，由第三代半导体质料范畴高条理人材倡议，团队常年深耕碳化硅单晶衬底制备科研范畴，技能方面具备焦点竞争上风。该公司的技能研发及出产触及碳化硅粉料合成、设备设计等制造全流程，形成为了碳化硅衬底质料出产的上风闭环。

2023年11月，山西天成经由过程PVT长晶法，开发出了 TSD 密度为零及BPD密度低至32个/cm2的6英寸导电型4H-SiC单晶衬底制备三木SEO-。2024年，该公司还有实现了8寸SiC单晶技能研发冲破，开发出了直径为202妹妹的8寸SiC单晶，各项参数指标优良。

此外，山西天成位在山西太原中北开发区的项目一期已经经建成投产，设置装备摆设完成后可年产5万片碳化硅衬底。2024年，公司最先设置装备摆设项目二期，包括厂房扩建、装备扩充以和构建多条切磨抛加工线。

据悉，2024年山西天成的组合营收到达2100万元，此中80%的收入来自碳化硅单晶衬底生长设备的发卖。2025年第一季度，公司已经经收到了500万元的定单，并正全力冲刺首季定单交付方针。

江苏天晶智能：12英寸碳化硅超硬质料超高速多线切割机发布

4月8日，江苏天晶智能设备有限公司（如下简称 天晶智能 ）于12英寸碳化硅（SiC）切割装备范畴实现庞大技能冲破，正式推出TJ320型超高速多线切割机。

这款装备集成为了自立研发的超高速伺服张力节制体系及金刚石线轮回切割技能，线运行速率高达3000米/分钟，切割效率较传统装备晋升300%，切割历程中张力节制精度年夜幅提高，极年夜地晋升了加工不变性。TJ320机型撑持4-12英寸晶圆兼容，单台年产能达20万片，可满意500辆新能源汽车的碳化硅电驱需求。

天晶智能总司理张耀于发布会上吐露，经由过程与中科院、江苏师范年夜学物电学院等机构互助验证，装备良率已经晋升至98%以上，且完成1000小时持续切割不变性测试，技能靠得住性得到权势巨子承认。

于装备成本和价格方面，天晶TJ320经由过程模块化设计及焦点部件国产化，将成本压缩至行业平均程度的1/10至1/20。该装备已经获欧洲、东南亚客户定单，估计2026年全世界市场份额将冲破30%。今朝，天晶智能淮安出产基地年产能已经达880台，二期工程将在2026年投产。

首芯半导体：12英寸PECVD Dubhe系列装备交付客户

近期，首芯半导体公布，其自立设计研发的首台12寸Dubhe系列等离子体加强型装备（PECVD Amorphous Carbon无定形碳硬掩膜进步前辈工艺）顺遂出机并交付至海内特点工艺客户。

该装备可对于应客户90/55/28nm和如下制程的无定形碳薄膜工艺，匹配外洋主流厂商同类型装备的工艺规格，具备更高的出产效率、更宽的工艺调治窗口等长处。装备配备自立研发的射频节制体系、年夜气和真空传送平台，搭配了自立开发的软件节制体系，可以匹配客户的EAP及MES体系整合，协助客户主动化高效出产。

据悉，本年1月末，首芯半导体得到一项名为 一种薄膜沉积装备 的专利（公然号CN119265543A），该专利经由过程优化通气面板设计，晋升了薄膜沉积腔体的机能。2月末，该公司还有得到了一项名为 载入腔室、载入腔室节制要领和晶圆处置惩罚体系 的专利（授权通知布告号CN117524932B），触及高效的载入腔设计，有助在晋升晶圆处置惩罚历程中的温度及压力节制。

北方华创：首款12英寸电镀装备Ausip T830发布

3月末，北方华创发布其首款12英寸电镀装备（ECP） Ausip T830。该装备专为硅通孔（TSV）铜填充工艺优化，重要面向2.5D/3D进步前辈封装市场。这次发布标记着北方华创乐成进军电镀装备范畴，并进一步完美了其于进步前辈封装范畴的全流程装备结构，涵盖刻蚀、去胶、PVD、CVD、电镀、PIQ和洗濯等要害工艺环节。

北方华创的Ausip T830装备冲破三十多项要害技能，揭示了深挚技能实力。该装备采用高真空密封及电化学沉积技能，及时优化预润湿和电镀参数，实现高妙宽比TSV填充。经由过程优化电场、流场及药液浓度，使TSV内部和边沿的铜沉积匀称，削减缺陷，提高芯片良率及靠得住性。

值患上留意的是，北方华创2025年第一季度实现营收82.06亿元，同比增加37.9%；归母净利润15.81亿元，同比增加38.8%；扣非净利润15.70亿元，同比增加44.75%。公司电容耦合等离子体刻蚀装备（CCP）等多款新产物实现技能冲破，工艺笼罩规模扩展，鞭策了事迹的高速增加。

中微公司：首推12英寸晶圆边沿刻蚀装备Primo Halona

3月27日，中微公司正式发布了其自立研发的12英寸晶圆边沿刻蚀装备Primo Halona 。

Primo Halona 采用中微公司特点的双反映台设计，可矫捷配置至多三个双反映台的反映腔，且每一个反映腔均能同时加工两片晶圆。别的该装备腔体内部采用抗腐化质料设计，可以或许抵御卤素气体的侵蚀，同时配备Quadra-arm机械臂，确保了晶圆处置惩罚的矫捷性及正确性。

别的，于4月22日，中微公司公布其ICP双反映台刻蚀机Primo Twin-Star 于刻蚀精度上取患上庞大冲破，反映台之间的刻蚀精度已经到达0.2埃（亚埃级），于氧化硅、氮化硅及多晶硅等薄膜的刻蚀工艺上均获得验证。

今朝，中微公司正规划投资设置装备摆设新的出产和研发基地，以进一步加强竞争实力，估计到2027年，新增的研发中央将专注在化学气相沉积等要害装备的开发。

孚烜科技：总部投产首批12英寸进步前辈工艺SDS高端设备

3月下旬，孚烜科技公布，其首批12英寸进步前辈工艺 SDS 高端设备正式投产发货。据悉，这次交付的SDS高端设备为孚烜科技彻底自立研发，专为进步前辈制程设计，具有高主动化、高不变性、高精度、质量包管、低维护成本等上风，专为半导体、光伏等范畴定制解决方案。

公然资料显示，孚烜科技建立在2016年，是一家专业从事半导体、湿法洗濯装备（Wet Bench）等研发、出产、发卖和办事为一体的科创技能企业。据悉，孚烜科技于2024年11月乐成开发出掩模版洗濯机FX-Mask Clean 01，并被安徽省工业及信息化厅评定为海内进步前辈，进一步富厚了公司的产物矩阵。

据悉，孚烜科技位在合肥经开区集成电路财产园的新总部基地估计在2025年5月开端试运行并实现部门投产。新基地的建成将显著晋升公司的出产能力，全数投产后，产能将于现有基础上增长2倍以上，为公司将来3-5年的成长提供强有力的支撑。

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